凹陷
超磨造成铜凹陷(dishing),铜凹陷深度与介电质层的底层凹陷(underlying topography)量相当(图一e) [2],适度的铜表面凹陷量 …
碟形的
《Friends》词汇表B ... ood OODabbr. 面向对象设计 dishing adj. 碟形的, 凹陷的 ref n. 裁判员 ...
碟形缺陷
...结构和最佳化的孔洞尺寸,使其研磨成品的缺陷率更低、碟形缺陷(Dishing)更少,其移除率(Remove Rate)超过了IC1000™ …
排水
纸业专业英语词汇翻译 英语词汇网 -... ... dish water 废水,回水 dishing 排渣;排水 disintegrate 离解 ...
排渣
纸业专业英语词汇翻译 英语词汇网 -... ... dish water 废水,回水 dishing 排渣;排水 disintegrate 离解 ...
下陷
存在於较宽图形上的金属下陷(dishing),以及较密图形上的介电层磨蚀,都会对一成功的镶嵌式制程平坦化能力产生挑战, …
碟形化
...磨(Over Polish)会造成器件空旷区严重的碟形化(Dishing),导致隔离失效,影响器件的可靠性(如图1);研磨不足(Un…